上海光機(jī)所大口徑釹玻璃加工取得重要進(jìn)展

  中科院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所恒益公司大口徑釹玻璃加工取得重要進(jìn)展，精拋光面形透射波前畸變可穩(wěn)定優(yōu)于1/3λ（λ=632.8nm），技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國內(nèi)大平面光學(xué)環(huán)拋加工最高水平，為國際同類產(chǎn)品加工先進(jìn)水平，并具備小批量生產(chǎn)能力。

　　近年來，釹玻璃片精拋光過程中的面形控制工藝難度和表面疵病嚴(yán)重超標(biāo)的現(xiàn)象一直制約著上海光機(jī)所恒益公司的加工產(chǎn)能。近幾個月來，上海光機(jī)所恒益公司集中組織專業(yè)技術(shù)人員，對釹玻璃光學(xué)加工中的相關(guān)工藝逐一進(jìn)行分解和細(xì)化，圍繞確定性環(huán)形拋光技術(shù)和生產(chǎn)過程控制，以工藝改進(jìn)和效率提升為目標(biāo)，從技術(shù)路線和管理路線兩個方面進(jìn)行攻關(guān)研究。

　　目前，生產(chǎn)效能和加工工藝水平都取得重要進(jìn)展，集中表現(xiàn)為以下兩個方面：產(chǎn)能得到有效提升，7個月內(nèi)，月產(chǎn)能從2片/月提升到現(xiàn)在的15片/月；產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)提升，尤其是表面質(zhì)量得到有效控制和改進(jìn)，供貨合格率得到大幅提高。

　　大口徑釹玻璃是高功率激光裝置的核心元件，其最大工件尺寸接近一米，精密拋光的面形要求為透射波前畸變優(yōu)于1/3λ，相當(dāng)于0.21微米的平面度要求。在大尺寸釹玻璃上實(shí)現(xiàn)如此高的平面度，溫梯度發(fā)生1℃的變化都會造成其面形畸變，技術(shù)難度高。來源上海光學(xué)精密機(jī)械研究所)